정량의 Gas 를 주입하며 Line 의 압력을 일정하게 유지시킬 수 있는 장치입니다.

주요구성품

1. Mass Flow Controller

2. Pressure Controller

3. Capacitance Diaphragm Gauge

4. Manual Bellows Valve

5. Pneumatic Diaphragm Valve 외